●中空旋轉平台與混合式控制系統 αSTEP 的一體型產品。

●模組產品內部為減速機構，可實現高輸出驅動。

●此為在5相步進馬達中採用中空凸緣的模組產品。

●產品為中空構造，可簡化設備前端的配管、配線，且凸緣安裝有助於減少可動部周邊零件。

● 與CVD驅動器組合使用時，可實現高精度定位。