真空用步進馬達

● 為了抑制氣體釋放，馬達外殼使用鋁、不鏽鋼材質，表面不塗裝。此外，軸承使用真空用潤滑油。　　　　　　　　　　● 釋放的氣體與通常潔淨環境下的成分相同，因此無須擔心污染真空環境。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　● 使用可承受熱處理溫度的耐熱用線圈。

在大氣中設置馬達時，需使用運轉導入機等，設備體積會變大。真空型馬達可將設置於真空環境內，因此可讓設備小型化。 此外，αSTEP AR系列不需要位置確認用檢知器，有助於降低成本。

αSTEP AR系列除了透過閉回路控制監視馬達資訊外，還搭載各種警示輸出功能。不需要真空對應型的昂貴編碼器。

常用於各式各樣的用途，如半導體製造設備及電子顯微鏡的測量機器等。

真空型馬達可對應真空環境下的多軸平台，解決難以設計運轉導入機的問題。可在真空中組合複數軸，實現更複雜的動作。

為了抑制產生氣體釋放，馬達表面無進行塗裝，軸承部使用真空用潤滑油。主要的殘留氣體與通常潔淨環境下的成分相同，使用時無須擔心污染真空室。

通常，隨著馬達電流值增加，真空壓力會變高。馬達溫度上升主因是線圈或樹脂材料的水分蒸發增加而導致。若要讓真空壓維持較低狀態，重點在於讓馬達保持較低的溫度。

αSTEP AR系列具有依據負載轉矩大小調整馬達電流的功能（CC模式）。使用CC模式可抑制馬達溫度，並使維持在低真空壓。 下圖為連續運轉及運轉週期比率（斷續運轉）時的轉速―溫度特性。