DH系列

此為在5相步進馬達中採用中空凸緣的模組產品。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　可於中空部進行空氣配管、配線或使光線穿透，藉此簡化設備前端設計，實現小型、輕量化。

可直接將負載安裝在中空凸緣上。有助於減少可動部周邊的零件數量。

搭載5相步進馬達，可進行高精度定位，並反覆穩定地進行細微動作。若與CVD驅動器組合使用，可透過微步級驅動、平滑驅動功能減少低速度振動，順暢動作　　　此外，由於中空凸緣未使用聯軸器或皮帶等傳動機構，精度不受零件剛性或組合誤差的影響。